سیستم‌های تحت خلاء و نشت‌یاب‌های هلیومی

سیستم‌های تحت خلاء و نشت‌یاب‌های هلیومی

نشت‌یاب هلیومی، برای پیدا کردن محل و اندازه‌گیری میزان نشت سیستم خلاء استفاده می‌شود. این نشت‌یاب، با نام نشت‌یاب طیف‌سنج جرمی (Mass Spectrometer Leak Detector (MSLD)) نیز شناخته می‌شود. نشت‌یاب طیف‌سنج جرمی هلیوم ابزاری است که معمولا برای شناسایی و یافتن نشت‌های کوچک مورد استفاده قرار می‌گیرد. در ابتدا، این نشت‌یاب در پروژه منهتن در طول جنگ جهانی دوم برای یافتن نشت در فرایند دیفیوژن گاز در طی غنی‌سازی اورانیوم توسعه یافت.

نشت در محفظه خلاء چگونه است؟

به طور ایده‌آل باید محفظه سیستم تحت خلاء، بعد از اتمام عمل تخلیه با خاموش شدن پمپ‌ها، خلاء را حفظ کند. اما در واقعیت با گذشت زمان فشار سیستم بالا می‌رود. این افزایش فشار میتواند به دو دلیل اتفاق بیفتد. اول، به دلیل نفوذ مولکول‌های چسبیده به جداره‌ها و دیوارها یا Outgassing. دوم، به علت نشت و نفوذ مولکول‌ها از خارج به داخل سیستم. به طور معمول دو نوع نشت وجود دارد:  نشت حقیقی و نشت مجازی.

نشت حقیقی و نشت مجازی

نشت حقیقی، نشت واقعی است که به دلیل وجود آب‌بندی ناقص سوراخ یا میکرو ترک‌ها در سیستم خلاء، ایجاد می‌شود. نشت مجازی، در اثر پدیده Outgassing مواد شیمیایی به دام افتاده یا چسبیده به فضای داخلی محفظه سیستم خلاء، ایجاد می‌شود. با کاهش فشار در محفظه سیستم خلاء و آزاد شدن گازها و ذرات به دام افتاده در دیواره های‌محفظه، افزایش فشاری توسط فشارسنج نشان داده می‌شود. در واقع نشت مجازی و غیر واقعی است زیرا محفظه در این حالت به خوبی آب‌بندی شده و منافذ ورود هوا کاملا مسدود شده‌اند.

در واقع هیچ سیستم خلائی نمیتواند به طور مطلق نشت نداشته باشد. اما باید میزان نشت به قدری کوچک باشد که فشار نهایی و تعادل گاز در محفظه، خلاء را به هم نزند. بنابراین تعیین حد مجاز و قابل قبول نشت، برای هر سیستم تحت خلاء، ضروری است. لذا نشت‌یابی یک مرحله مهم در ایجاد خلاء و ضمانت حصول فشار نهایی مطلوب می‌باشد.

چرا از گاز هلیوم در نشت‌یابی استفاده می‌شود؟

گاز هلیوم مناسب‌ترین انتخاب، برای نشت‌یابی است. این گاز غیر سمی، واکنش‌ناپذیر (بی‌اثر) و غیر قابل اشتعال است. همچنین در هوای اطراف ما (جو) کمیاب است و غلظت آن حدود ۵ ppm است. گاز هلیوم، به خاطر ابعاد اتمی کوچکی که دارد به راحتی از منافذ نشتی بسیار کوچک عبور می‌کند. تنها مولکول کوچکتر از هلیوم، هیدروژن است که البته یک گاز نجیب (بی‌اثر) نیست. هلیوم، همچنین نسبتا ارزان است و در سیلندرهای با اندازه‌های مختلف و به صورت خالص شده، در دسترس است. روش‌های دیگری نیز برای تشخیص نشت وجود دارد. اما هیچ یک از آنها از نظر تشخیص محل نشت و اندازه‌گیری مقدار آن، به اندازه روش نشت یابی هلیومی دقیق نیستند.

روش‌های نشت یابی با هلیوم

روش‌های مختلفی برای نشت‌یابی سیستم خلاء با استفاده از گاز هلیوم وجود دارد. معمولا با توجه به شرایط کاری سیستم مورد نشت‌یابی، یک روش انتخاب می‌شود. حفظ شرایط فشار، مشابه با شرایط واقعی کار دستگاه، یکی از مسائل بسیار مهم است. به طور کلی تعیین مکان نشت و مقدار نشت در یک سیستم تحت خلاء، دو مسئله مهمی‌اند که در تمام روش‌ها دنبال می‌شوند. دو روش اصلی تشخیص نشت با استفاده از گاز هلیوم عبارتند از: روش تست خلاء (خارج به داخل) و روش تست فشار (داخل به خارج).

تشخیص مکان نشت با روش تست خلاء | نشت‌یاب هلیمی
شکل۱. تشخیص مکان نشت با روش تست خلاء با اسپری هلیوم

تشخیص مکان و مقدار نشت با روش‌های تست خلاء

روش اسپری هلیوم

در روش تست خلاء، ابتدا سیستم خلاء توسط یک پمپ خارجی یا پمپ نصب شده روی خود سیستم به خلاء مورد نظر می‌رسد. سپس هلیوم در مکان‌های مشکوک به نشت، اسپری می‌شود.

در صورتی که نشت وجود داشته باشد، مولکول‌های هلیوم به داخل محفظه نفوذ می‌کنند و سنسور نشت‌یاب هلیوم، که داخل محفظه سیستم خلاء قرار داده شده است، حضور آن‌ها را تشخیص می‌دهد. بدین صورت، مکان نشت مشخص می‌شود. در شکل زیر، شماتیکی از تشخیص مکان نشت با روش تست خلاء، نشان داده شده است.

روش تشخیص نشت کلی با محفظه خلاء

برای تشخیص مقدار نشت کلی سیستم، سیستم تحت تست، درون یک محفظه گاز هلیوم با فشار خاص قرار داده می‌شود. در این حالت، از تمام مکان‌های نشت، گاز هلیوم وارد سیستم مورد تست، می‌شود و توسط نشت‌یاب هلیومی اندازه گیری می‌شود. در شکل زیر، شماتیک اندازه‌گیری میزان نشت سیستم خلاء، آمده است.

تشخیص مقدار نشت کلی با روش تست خلاء | نشت‌یاب هلیمی
شکل ۲. تشخیص مقدار نشت کلی با روش تست خلاء
تشخیص مقدار نشت کلی با روش تست فشار | نشت‌یاب هلیمی
شکل ۳. تشخیص مکان نشت با روش تست فشار

تشخیص مکان و مقدار نشت با روش تست فشار

روش تست مکش

در روش تست فشار، ابتدا محفظه مورد تست با گاز هلیوم یا مخلوطی از گاز هلیوم و هوا پر می‌شود. سپس محل‌های مشکوک به نشت توسط یک ردیاب مکشی (Sniffer probe) اسکن می‌شود.

در صورت وجود گاز هلیوم، نشت‌یاب شروع به هشدار دادن می‌کند و بدین ترتیب محل نشت مشخص می‌شود. در شکل زیر، نحوه تشخیص مکان نشت با روش تست فشار، نشان داده شده است.

روش تست در محفظه خلاء

به منظور تشخیص مقدار نشت کلی سیستم، محفظه مورد تست پس از پر شدن با گاز هلیوم، درون یک محفظه متصل به پمپ خلاء و نشت‌یاب قرار داده می‌شود. میزان گاز هلیوم عبوری به سمت پمپ خلاء، توسط نشت‌یاب اندازه‌گیری شده و بدین ترتیب مقدار کل نشت سیستم تعیین می‌گردد. در شکل زیر، نحوه تعیین میزان نشتی کل با روش تست فشار در محفظه خلاء، نمایش داده شده است.

تشخیص مقدار نشت کلی با روش تست فشار | | نشت‌یاب هلیمی
شکل ۴. تشخیص مقدار نشت کلی با روش تست فشار در محفظه خلاء

روش جام مکش

این روش برای اجسام تحت آزمایش که نمی‌توانند داخل محفظه خلاء دیگری قرار داده شوند یا به دلیل شرایط محصول (مثلاً در مورد ظروف بزرگ) یا با توجه به فرآیند تولید نمی‌توانند به طور کامل تخلیه شوند بسیار مفید است. روش جام مکش را می توان در موارد مختلفی مانند:

  • بررسی فرآیند ساخت محفظه های خلاء بزرگ
  • یافتن نشتی های محلی

به کار برد.

شکل 5. نشت‌یابی موضعی به روش جام مکش با استفاده از یک نشت‌یاب هلیومی
شکل ۵. نشت‌یابی موضعی به روش جام مکش با استفاده از یک نشت‌یاب هلیومی
اساس عملکرد نشت‌یاب‌های طیف‌سنج جرمی هلیوم در سیستم خلاء
شکل ۶. اساس عملکرد نشت‌یاب‌های طیف‌سنج جرمی هلیوم در سیستم خلاء

اساس عملکرد تشخیص‌دهنده‌های هلیوم در نشت‌یابی سیستم خلاء

اساس روش این سنسورها به این صورت است که ابتدا گاز هلیوم نشت پیدا کرده از یک محفظه تست، توسط یک پرتو الکترونی یونیزه می‌شود. پرتو الکترونی توسط فیلامنت موجود در محفظه یونی در تیوب آنالیز تولید می‌شود. سپس یون‌های هلیوم در یک میدان الکتریکی (در حد ۴۰۰ تا ۱۲۰۰ ولت) به سمت روزنه کوچک موجود روی محفظه یونی شتاب می‌گیرند. یون‌ها از میدان مغناطیسی ایجاد شده توسط آنالایزر عبور می‌کنند و بسته به وزنشان مسیر منحنی متفاوتی را طی می‌کنند. یون‌ها در این میدان مغنایسی بر اساس نسبت جرم به بارشان تفکیک می‌شوند، زیرا شعاع انحراف یون‌ها، بسته به نسبت جرم به بارشان در یک میدان مغناطیسی متفاوت است. یون‌های با جرم بزرگتر شعاع انحراف بیشتری دارند.

جمع‌کننده یونی

جمع‌کننده یونی (Ion collector) در مکانی قرار داده شده است که فقط یون‌های هلیوم با توجه به جرمشان در آنجا فرود می‌آیند. در نتیجه تمام مولکول‌های هلیومی که وارد نشت‌یاب می‌شوند، یونیزه شده و توسط جمع‌آوری کننده یونی، جمع‌آوری می‌شوند. سپس جریان یون‌های جمع آوری شده توسط یک آشکارساز به جریان الکتریکی تبدیل می‌شود. جریان الکتریکی توسط واحد نمایشگر نشت، روی یک صفحه، مانیتور می‌شود. جریان الکتریکی اندازه گیری شده به صورت مستقیم متناسب است با غلظت هلیوم و در نتیجه برابر است با مقدار نشت.

مبنای آشکار‌سازی گاز هلیوم، بر اساس همین تفاوت نسبت جرم به بار است. برای نشت‌های بسیار کم، جریان بسیار کوچک در حدود  ۱۵-۱۰ آمپر که معادل حساسیتی برابر ۱۲-۱۰ میلی بار. لیتر در ثانیه (L.mbar/sec) است. باید توجه نمود که  طول مسیر حرکت یون‌ها در طیف‌سنج جرمی، از چشمه یونی تا کلکتور، تقریبا ۱۵ سانتی متر است. از آنجائیکه، یون‌ها بایستی این مسیر را بدون برخورد با مولکول‌های گاز طی کنند، متوسط طول پویش آزاد حداقل باید ۶۰ سانتی‌متر باشد (در محدوده خلاء بالا). لذا طیف‌سنج جرمی، خود در شرایط خلاء کار می‌کند.

شماتیک نحوه کار نشت‌یاب طیف سنج جرمی هلیوم
شکل ۷. شماتیک نحوه کار نشت‌یاب طیف سنج جرمی هلیوم

نشت‌یاب‌های هلیومی معمولا شامل قسمت‌های زیر می‌باشند:

  • طیف‌سنج جرمی هلیوم 
  • سیستم و شیرهای کنترل که مراحل مختلف تست شامل چرخه اندازه گیری، خلاء کردن، تست و هوادهی را کنترل می‌کنند
  • پمپ‌های خلاء بالا و پشتیبان، مانند پمپ‌های روتاری و توربومولکولار، به منظور کاهش فشار به میزان کافی
  • فشار‌سنج برای اندازه‌گیری میزان خلاء
  • لوازمی که واحد تست را به نشت‌یاب متصل می‌کنند

چالش‌های استفاده از روش تشخیص نشت هلیوم

چالش‌های متعددی در روش تشخیص نشت‌های کوچک با استفاده از هلیوم وجود دارد که باید مورد توجه قرار گیرند. هلیوم محیط پیرامون یا به دام افتاده در داخل محفظه ممکن است بر دقت تشخیص نشت و اندازه‌گیری با نشت‌یاب های بسیار حساس هلیوم تأثیر بگذارد. همچنین، از آنجا که واحد نشت‌یاب خود ضد نشت نیست، می‌تواند عامل مشکل نشتی باشد. بنابراین یک محیط عاری از هلیوم برای تشخیص دقیق نشت ضروری است. همچنین عوامل خارجی و نفوذ هلیوم از طریق دریچه های خروجی و ورودی و اورینگ‌ها می تواند بر نتایج تشخیص نشتی های بسیار کوچک تأثیر منفی بگذارند.

نشت‌یابی سیستم‌های لایه نشانی تحت خلاء

لایه‌نشانی لایه‌های نازک به روش تبخیر فیزیکی (PVD) نیازمند محیط با خلاء مناسب است تا پوششی با درصد خلوص بالا بر روی نمونه نشانده شود. با توجه به اینکه تمام سیستم‌های لایه نشانی ساخته شده توسط شرکت پوشش‌های نانوساختار، سیستم‌های لایه نشانی تحت خلاء هستند، پیدا کردن محل نشت و برطرف کردن آنها در این سیستم‌ها نیز مانند تمام سیستم‌های تحت خلاء از اهمیت بالایی برخوردار است.

به همین منظور، شرکت پوشش‌های نانوساختار، از سیستم‌های نشت‌یابی هلیومی به منظور نشت‌یابی سیستم‌های لایه نشانی تحت خلاء ساخته شده در این مجموعه، مانند اسپاترکوترها، کربن کوترها، تبخیرکننده‌های حرارتی و دستگاه لایه نشانی لیزر پالسی، استفاده می‌کند. اگر سیستم‌های لایه‌نشانی در خلاء به سطح خلاء مطلوب نرسند، لازم است از نظر احتمال وجود هرگونه نشتی بررسی شود. برای مطالعه بیشتر در این زمینه، مطلب تشخیص نشت در سیستم‌های خلاء را مطالعه بفرمایید.

در مواردی که مکان و علت نشت در سیستم‌های لایه نشانی تحت خلاء مشخص نیست، نیاز است تا از مکانیزم‌های نشت‌یابی سیستم‌های لایه نشانی تحت خلاء و نشت‌یاب‌های هلیومی استفاده شود.

شرکت پوشش‌های نانوساختار، از سیستم‌های نشت‌یابی هلیومی به منظور نشت‌یابی سیستم‌های لایه نشانی تحت خلاء ساخته شده در این مجموعه، استفاده می‌کند و ارائه کننده خدمات نشت‌یابی سیستم‌های خلاء نمی‌باشد.

اسپاترکوتر

NSC DSR1 Full Face Products Page

کربن کوتر

NSC DCR full face

اسپاتر/ کربن

دستگاه اسپاترینگ و لایه نشان کربن خلاء بالا - DSCT

تبخیر حرارتی

NSC DTT full face

منابع

  1. Ahmadi, Afsaneh; Moenie, Mahdi; Kowsari, Mohammadreza, Leak detection of vacuum systems using helium leak detector.
  2.  N. HilleretLEAK DETECTIONGeneva, SwitzerlandCERNAt the origin of the helium leak detection method was theManhattan Projectand the unprecedented leaktightness requirements needed by the uranium enrichment plants. The required sensitivity needed for the leak checking led to the choice of a mass spectrometer designed by Dr. A.O.C. Nier tuned on the helium mass. Because of its industrial use, the material choice (originally glass) turned out to be unbearably fragile and after many complaints by the users, a new metallic version was developed and constructed. The sensitivity of the apparatus was in ۱۹۴۶ ~۱۰۷ Pa·m۳·s۱ and it increased to ~۱۰۱۰ Pa·m۳·s۱ by ۱۹۷۰. Nowadays the quoted sensitivity of the most sensitive detectors is ~۱۰۱۳ Pa·m۳·s۱, a factor ۱۰۶ gain within ۵۰ years
  3. Robert Brockmann“UST method”. researchgate
  4. https://www.iitk.ac.in/ibc/HLDr.pdf
  5. https://www.fukuda-jp.com/en/leak/
  6. https://odishaexpo.com/global-helium-leak-sensor-market-2020-growth-analysis/
  7. https://www.leybold.com/en/knowledge/vacuum-fundamentals/leak-detection/using-helium-for-industrial-and-integral-leak-tests
  8. https://www.leybold.com/en/knowledge/blog/finding-vacuum-leaks-using-helium
  9. https://showcase.ulvac.co.jp/en/how-to/product-knowledge07/testmethod.html
  10. Medhe, Sharad. “Mass spectrometry: detectors review.” Chem Biomol Eng 3.4 (2018): 51-58.

Leave a Comment